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隨著電子、精密加工、軍工、醫(yī)療、醫(yī)藥、食品生產(chǎn)等行業(yè)的發(fā)展，對(duì)空氣中灰塵顆粒和細(xì)菌顆粒的控制要求越來越高，實(shí)驗(yàn)室也需要無塵潔凈。無塵凈化的等級(jí)主要是根據(jù)每立方米空氣中粒徑大于分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來確定的。也就是說，所謂的無塵不是沒有一點(diǎn)點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)很小的單元里。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒，相對(duì)于我們普通的粉塵來說是很小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，即使是少量的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)中，無塵是必然的要求。
每立方米粒徑小于0.3微米的細(xì)小粉塵數(shù)量控制在3500以下，達(dá)到無塵標(biāo)準(zhǔn)A級(jí)。目前芯片級(jí)生產(chǎn)加工采用的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求比A級(jí)更高，這種高標(biāo)準(zhǔn)主要應(yīng)用于一些更高級(jí)別的芯片生產(chǎn)。5uM及以下細(xì)塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，業(yè)內(nèi)也稱為1K級(jí)。
再小的微塵也難逃微粒檢測(cè)儀的“法眼”！這是一種計(jì)數(shù)粉塵顆粒數(shù)量的儀器，為空氣清潔度的評(píng)估提供依據(jù)。作為一種用于檢測(cè)潔凈環(huán)境中單位體積灰塵顆粒數(shù)量及分布的儀器，具有檢測(cè)速度快、測(cè)量精度高、可靠性高、使用靈活、測(cè)量性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。廣泛用于血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)監(jiān)所等權(quán)威機(jī)構(gòu)、電子行業(yè)、制藥車間、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密加工、塑料、涂裝、醫(yī)院、環(huán)保、檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)等生產(chǎn)企業(yè)和科研部門。
微粒檢測(cè)儀是一種用于探測(cè)空氣中塵埃粒子的粒徑和粒子分布的專用裝置。計(jì)數(shù)器的檢測(cè)速度確實(shí)很快，動(dòng)態(tài)分布也比較廣，不會(huì)受到人為因素的影響。測(cè)量結(jié)果比較準(zhǔn)確。已經(jīng)是很多廠家和科研部門進(jìn)行顆粒物檢測(cè)的首選。利用塵埃粒子在強(qiáng)光照射下產(chǎn)生散射光。計(jì)劃?rùn)z測(cè)散射光的強(qiáng)度。微粒檢測(cè)儀接收靈敏度的穩(wěn)定性是保證測(cè)量精度的關(guān)鍵，提出了一種主動(dòng)校準(zhǔn)塵埃粒子計(jì)數(shù)器的方法，使儀器在校準(zhǔn)過程中始終處于可接受的靈敏度。
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